2024年全球工业原子层沉积系统产量达2196台，平均售价为98.5万美元/台。工业原子层沉积系统是一种于工业生产场景中，借助交替引入前驱体气体，引发基底表面自限制化学反应，实现原子级薄膜逐层精准沉积的高精度制造设备。

工业 现状及 原子层沉积 工业原子层沉积 原子层沉积系统 2025-09-29 11:48  2